光学膜厚仪特征及应用说明
Thetametrisis自动化光学膜厚仪 FR-Scanner 是一种紧凑的台式工具，适用于自动测绘晶圆片上的涂层厚度。FR-Scanner 可以快 速和准确测量薄膜特性:厚度，折射率，均匀性，颜色等。真空吸盘可应用于任何直径或其他形状的样片。应用：
1、半导体生产制造：(光刻胶, 电介质,光子多层结构， poly-Si, Si, DLC, )
2、光伏产业
3、液晶显示
4、光学薄膜
5、聚合物
6、微机电系统和微光机电系统
7、基底:透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明
Thetametrisis膜厚仪*的光学模块可容纳所有光学部件:分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此，在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。
Thetametrisis膜厚仪 FR-Scanner 通过高速旋转平台和光学探头直线移动扫描晶圆片(极坐标扫描)。通过这种方法，可以在很短的时间内记录具有高重复性的反射率数据，这使得FR-Scanner 成为测绘晶圆涂层或其他基片涂层的理想工具。
测量 8" 样片 625 点数据 < 60 秒
Thetametrisis自动化光学膜厚仪特征：
1、单点分析(不需要预估值）
2、动态测量
3、包括光学参数(n和k，颜色) o 为演示保存视频
4、600 多种的预存材料
5、离线分析
6、免费软件更新
产品资料来源：http://www.dymek.com.cn/Products-35206065.html
https://www.chem17.com/st110205/product_35206065.html
页:
[1]