Sensofar共聚焦白光干涉仪的特点及优势
Sensofar共聚焦白光干涉仪能够测量不同的材质，结构，表面粗糙度和波度，几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的形貌,测量应用。Sensofar的核心是将3种测量方式融于体，确保了其的性能。配合SensoSCAN软件系统，用户将获得难以置信的直观操作体验。Sensofar共聚焦白光干涉仪特点及优势：
1、共聚焦模式
共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率，可达0.10um.利用它可以实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。
2、相位差干涉模式
相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率。使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。
3、白光干涉干涉模式
白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率。
4、多焦面叠加模式
多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据我们在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大(86°)。此功能对工件和模具测量特别有用。
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