日本JIMA卡产品系列
日本JIMA卡是一款采用最新半导体光刻技术制作的微型分辨率测试卡。该测试卡用于校准和监控系统分辨率,确保微焦点或纳米焦点X射线检测系统获得高质量的结果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米(3 µ m至50 µ m)的分辨率。这对应于6微米和100微米(6 µ m和100 µ m)之间的焦斑尺寸。产品系列:
1、JIMA RT RC-05B:这款测试卡支持3微米至50微米(3 µm至50 µm)的分辨率,对应焦斑尺寸为6微米和100微米(6 µm和100 µm)之间。它采用16组I&T布局,尺寸为2x2 mm和8x8 mm的硅基,包含5μm I&T的图像,以及3行和2个空格的Au Slit,宽度从3至10 μm(T形布局)和15至50 μm(I形布局)。
2、JIMART RC-02、RC-04、RC-05:这些测试卡封装在防护盒中,具有不同的芯片尺寸和图案布局。例如,RC-02具有L型图案布局,RC-05具有T型和I型图案布局,分别针对不同的线/空间尺寸。
3、JIMA RT CT-01:这是一款专用于三维CT系统分辨率测试的测试卡,具有T型图案布局和5种规格的线/空间尺寸(3μm, 4μm, 5μm, 6μm, 7μm)。
应用:
日本JIMA卡主要用于校准和监控系统分辨率,确保X射线系统在微米和纳米焦点的图像质量。
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