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湿度传感器检测是基于其功能材料能发生与湿度有关的物理效应或化学反应的基础上制造的。它具有可将湿度物理量转换成电讯号的功能。这些功能可以通过与湿度有关的电阻或电容的变化、长度或体积的胀缩、以及结型器件或MOS器件的某些电参数的变化来得到实现。

湿度传感器检测根据其工作原理的不同可以分成以下几种：
1、伸缩式，它利用脱脂毛发的线性尺寸随环境水汽含量的变化而变化；
2、蒸发式，即干湿球湿度传感器，它利用干球与湿球温度计在相对湿度变化时两者温度差变化而制得。毛发湿度计和干湿球湿度计的主要缺点是灵敏度和分辨率都不够高；
3、露点计，利用冷却方法使气体中的水汽达到饱和而结露，根据露点温度来测量气体中的相对湿度；
4、电磁式，它包括晶振式，二极管式，微波式和表面声波式，其工作原理是利用某些物质吸附水汽后，晶振振荡频率，微波的传播速度和二极管的整流特性等发生变化来测定相对湿度。

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