xiaobobo123 发表于 2024-5-8 15:42:17

白光干涉仪的主要特点

白光干涉仪是一种基于干涉原理的光学测量仪器,它通过白光干涉技术,结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。其工作原理是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路,利用两束相干光间光程差的任何变化导致的干涉条纹的移动,来测量物体的形状、表面粗糙度、尺寸等参数。

白光干涉仪的主要特点包括:
1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm~200μm。
3、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
4、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。

白光干涉仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域。例如,在机械制造中,白光干涉仪可以精确地测量机械零件的尺寸和形状,从而保证产品质量;在光学领域中,白光干涉仪可以测量光学镜片的形状和曲率,从而保证光学系统的性能。

更多产品信息来源:http://www.bjygtech.cn/Products-38286993.html
https://www.chem17.com/st475679/product_38286993.html

青天仪表 发表于 2024-5-13 16:01:18

愿收录
超声波流量计
流量计厂家
页: [1]
查看完整版本: 白光干涉仪的主要特点