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白光干涉仪是一种基于干涉原理的光学测量仪器，它通过白光干涉技术，结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。其工作原理是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路，利用两束相干光间光程差的任何变化导致的干涉条纹的移动，来测量物体的形状、表面粗糙度、尺寸等参数。

白光干涉仪的主要特点包括：
1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm~200μm。
3、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
4、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。

白光干涉仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域。例如，在机械制造中，白光干涉仪可以精确地测量机械零件的尺寸和形状，从而保证产品质量；在光学领域中，白光干涉仪可以测量光学镜片的形状和曲率，从而保证光学系统的性能。

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