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Sensofar白光干涉仪是一种高精度、高分辨率的光学测量设备，它利用白光干涉原理进行非接触式测量，以获取物体表面的三维形貌和几何尺寸信息。以下是关于Sensofar白光干涉仪的一些详细信息：

工作原理：
Sensofar白光干涉仪通过发射一束白光到被测物体表面，并收集反射回来的光线。当反射光线与参考光线发生干涉时，会产生明暗相间的干涉条纹。通过分析这些干涉条纹，可以精确测量出物体表面的高度变化和形貌特征。

应用领域：
Sensofar白光干涉仪广泛应用于半导体制造、精密加工、光学元件检测、生物医学工程等领域。具体应用包括但不限于：
1、半导体晶圆检测：用于测量晶圆表面的粗糙度、平坦度、台阶高度等参数。
2、光学元件检测：测量透镜、棱镜等光学元件的表面形貌和几何尺寸。
3、精密加工检测：用于检测精密机械零件的表面质量、几何尺寸和加工精度。
4、生物医学工程：在生物医学工程中，用于测量生物组织、细胞等微小结构的表面形貌和尺寸。

技术优势：
1、垂直分辨率高：Sensofar白光干涉仪的垂直分辨率可以达到纳米级，甚至亚纳米级。
2、抗干扰能力强：由于采用白光光源，对于环境光线的干扰具有较强的抵抗能力。
3、实时测量：可以实时获取测量数据，并进行在线分析和监控。
4、易于操作：配备直观易用的测量软件，用户可以轻松完成测量任务。

总之，Sensofar白光干涉仪是一种高精度、高分辨率、非接触式的光学测量设备，在科研和工业领域具有广泛的应用前景。

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